Target di sputtering in lega di titanio ad alta purezza (99,8%), 7 pezzi, per rivestimenti, fornitore di fabbrica.
Parametri del prodotto
| Nome del prodotto | Bersaglio in titanio per macchina di rivestimento PVD |
| Grado | Titanio (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, Gr12)Obiettivo in lega: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr ecc |
| Origine | Città di Baoji, provincia dello Shaanxi, Cina |
| Contenuto di titanio | ≥99,5 (%) |
| Contenuto di impurità | <0,02 (%) |
| Densità | 4,51 o 4,50 g/cm³ |
| Standard | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
| Misurare | 1. Bersaglio rotondo: Ø30--2000mm, spessore 3,0mm--300mm;2. Dimensioni della piastra: Lunghezza: 200-500 mm Larghezza: 100-230 mm Spessore: 3-40 mm;3. Tubo bersaglio: Diametro: 30-200 mm Spessore: 5-20 mm Lunghezza: 500-2000 mm;4. Disponibile la personalizzazione |
| Tecnica | Forgiato e lavorato a CNC |
| Applicazione | Industria della separazione dei semiconduttori, dei materiali per il rivestimento di film sottili, del rivestimento degli elettrodi di accumulo, del rivestimento per sputtering, del rivestimento superficiale e del rivestimento del vetro. |
Requisiti chimici del target di titanio
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Contenuto elementare (≤% in peso) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | Altri | ||||
| Titanio puro | Gruppo 1 | TA1 | Classe 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
| Gruppo 2 | TA2 | Classe 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
| TitanioLega | Classe 5 | TC4Ti-6Al-4V | Classe 60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al:5,5-6,75 V:3.5-4.5 |
| Grado 7 | TA9 | Classe 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd:0,12-0,25 | |
| Classe 12 | TA10 | Classe 60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Mo:0,2-0,4 Ni:0,6-0,9 | |
Proprietà meccaniche longitudinali a temperatura ambiente
| Grado | Resistenza alla trazioneRm/MPa (>=) | Resistenza allo snervamentoRp0.2(MPa) | AllungamentoA4D(%) | Riduzione dell'areaZ(%) |
| Gruppo 1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gruppo 2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Grado 5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Grado 7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| Grado 12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Bersagli di titanio per sputtering
Le dimensioni comuni del target di sputtering in titanio sono: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 ecc.
È possibile personalizzare il prodotto anche in base alle richieste o ai disegni del cliente.
Requisiti desiderati: elevata purezza, grani cristallini uniformi e buona compattezza.
Purezza: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Processo di produzione dei target in titanio
spugna di titanio --- fusione in lingotto di titanio --- prova --- taglio del lingotto --- forgiatura --- laminazione --- pelatura --- raddrizzamento --- rilevamento difetti a ultrasuoni --- imballaggio
Caratteristiche del bersaglio in titanio
1. Bassa densità ed elevata resistenza specifica
2. Eccellente resistenza alla corrosione
3. Buona resistenza agli effetti del calore
4. Eccellente attitudine alla criogenia
5. Non magnetico e non tossico
6. Buone proprietà termiche
7. Basso modulo di elasticità
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