Fornitore di bersagli per sputtering in lega di titanio di grado 7, titanio puro al 99,8%, per rivestimenti
Parametri del prodotto
| Nome del prodotto | Bersaglio in titanio per macchina di rivestimento PVD |
| Grado | Titanio (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Obiettivo in lega: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr ecc |
| Origine | Città di Baoji, provincia dello Shaanxi, Cina |
| Contenuto di titanio | ≥99,5 (%) |
| Contenuto di impurità | <0,02 (%) |
| Densità | 4,51 o 4,50 g/cm3 |
| Standard | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
| Misurare | 1. Bersaglio rotondo: Ø30--2000mm, spessore 3,0mm--300mm;2. Piastra di destinazione: Lunghezza: 200-500 mm Larghezza: 100-230 mm Spessore: 3-40 mm;3. Bersaglio del tubo: Diametro: 30-200 mm Spessore: 5-20 mm Lunghezza: 500-2000 mm;4. Disponibile anche la personalizzazione |
| Tecnica | Forgiato e lavorato a CNC |
| Applicazione | Separazione dei semiconduttori, Materiali di rivestimento di film, Rivestimento degli elettrodi di stoccaggio, Rivestimento mediante sputtering, Rivestimento superficiale, Industria del rivestimento del vetro. |
Requisiti chimici del target di titanio
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Contenuto elementare (≤% in peso) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | Altri | ||||
| Titanio puro | Gruppo 1 | TA1 | Classe 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
| Gr.2 | TA2 | Classe 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
| TitanioLega | Gruppo 5 | TC4Ti-6Al-4V | Classe 60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al:5,5-6,75 Versione: 3.5-4.5 |
| Gr.7 | TA9 | Classe 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd:0,12-0,25 | |
| Gr.12 | TA10 | Classe 60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Lun:0,2-0,4 Ni:0,6-0,9 | |
Proprietà meccaniche longitudinali a temperatura ambiente
| Grado | Resistenza alla trazioneRm/MPa(>=) | limite di snervamentoRp0,2(MPa) | AllungamentoA4D(%) | Riduzione dell'areaZ(%) |
| Gruppo 1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gruppo 2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Obiettivi di sputtering di titanio
Le dimensioni comuni del bersaglio per sputtering in titanio sono: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 ecc.
Può anche essere personalizzato in base alle richieste o ai disegni del cliente
Requisiti richiesti: elevata purezza, grani cristallini uniformi e buona compattezza.
Purezza: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Processo di produzione del bersaglio in titanio
spugna di titanio --- fusa in lingotto di titanio --- test --- taglio del lingotto --- forgiatura --- laminazione --- pelatura --- raddrizzamento --- rilevamento di difetti ad ultrasuoni --- imballaggio
Caratteristiche del bersaglio in titanio
1. Bassa densità e resistenza alle specifiche elevate
2. Eccellente resistenza alla corrosione
3. Buona resistenza all'effetto del calore
4. Ottima compatibilità con le proprietà criogeniche
5. Non magnetico e non tossico
6. Buone proprietà termiche
7. Basso modulo di elasticità
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